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超详细~扫描电镜(SEM)相关小知识!

2025年10月13日 14:52  

一、扫描电子显微镜(SEM)介绍

扫描电子显微镜(SEM)是利用二次电子和背散射电子信号,通过真空系统、电子束系统和成像系统获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息的一种分析仪器,随着科学技术水平的提高,其放大倍数,可达几十万倍,分辨率可达纳米级别,是形貌和成分分析领域极其重要的一种工具。

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二、常规项目形貌、能谱点扫、能谱线扫、能谱面扫(mapping;可镀金,非磁、弱磁、强磁样品均可拍摄。

💡1、形貌:仪器放大倍数范围是100-20W倍,常规样品可以拍摄到8-10W倍,导电性不好或磁性样品大于8W倍可能会不清晰。

💡2、能谱:SEM能谱一般只能测C(含C)以后的元素,(B元素也能做,但是不准),需要注意的是制样时待测元素不能与基底成分有重合,如果要测C元素,样品不要分散到含C的基底上,可以分散到硅片,锡纸上,如果要测Si元素,注意不要制样到硅片上。
💡3、镀金:为了保证拍摄效果,一般导电差或强磁性的样品都需要镀金之后进行拍摄。含铁、钴、镍、锰等磁性元素均为磁性样品,吸铁石能吸起来为强磁,吸铁石吸不起来为弱磁;有些材料对外不表现磁性,但加磁场后容易磁化,受热后磁性增强。

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三、制样要求:

💡1、块体:直接用导电胶粘在样品台上测试,若需拍块体/薄膜截面,需明确截面制备方法,一般可以采用剪刀裁剪和液氨脆断两种方式:

💡2、液体:用移液枪取样品超声后的悬浊液,滴一滴于硅片或锡纸上,自然风干/红外灯烘干,烘干后将硅片或锡纸用导电胶粘在样品台上测试

💡3、粉末:(1)直接用导电胶粘在样品台上测试;(2)乙醇分散制样取少量样品于离心管中,加入一定量无水乙醇(或水),室温超声5-10min,随后采用2种液体的制样方式制样测试。

💡4、生物组织类:样品制备需要在高真空环境下对微生物进行固定、冷冻、或脱水,并进行喷金处理。例如,菌丝类的样品,一般样品脱水50%~100%乙醇用冷冻干燥机干燥的方法,最后金处理,可以获得样品皱缩小、高分辨率的SEM图像。


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