超高分辨冷场扫描电子显微镜 (SEM)

仪器型号及国别：Hitachi SU8600，日本
购置年份：2025

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仪器简介

本仪器采用 冷场发射电子枪结合 Mild Flash 柔性技术，能够在低加速电压下实现高亮度、稳定的电子束发射，具备极高的分辨率和广泛的应用适应性。配备多功能信号探测系统与高性能能谱仪 (EDS)，可对样品进行 形貌、结构、元素组成及结晶学信息 的综合分析，广泛应用于材料、生命科学、物理、化学、环境科学及工程领域的精密研究。

主要技术指标

电子枪：冷场发射电子枪（Mild Flash 技术）

分辨率：

     0.6 nm @15 kV（工作距离 4 mm）

     0.7 nm @1 kV（工作距离 1.5 mm）

电子束束流：≤20 nA

放大倍率：20× ～ 2,000,000×（底片与显示器倍率同步显示）

加速电压：0.01 ～ 30 kV（10 V/step），具备减速功能

自动校准功能：自动电子束对中、光阑对中、像散校正、自动对焦、亮度/对比度优化

物镜光阑：≥4 孔，连续可调，具自清洁加热功能

信号检测系统：

Inlens 探测器、低位探测器、ExB 信号选择系统

支持 SE、HA-BSE、LA-BSE 成像，可实时混合并自由比例调节

能谱仪（EDS）：

元素范围：3Li – 83Bi

能量分辨率：Mn Kα ≤127 eV；F Kα ≤64 eV；C Kα ≤56 eV（@130,000 cps）

探测器有效面积：100 mm²

主要功能与应用

微区形貌表征：高分辨率观察样品表面、断口等形貌，成像清晰，立体感强

元素成分分析：借助 EDS 技术，实现微区元素定性与半定量分析，适用于纳米尺度区域

结构与结晶学研究：通过 SE、BSE 等多信号成像模式，分析晶粒形态、相分布及结构缺陷

多样品适应性：支持导电与非导电样品，低电压成像与减速功能有效减少样品损伤与充电效应

典型应用领域

材料科学：金属、陶瓷、高分子及复合材料的显微结构与断口分析

生命科学：生物组织、细胞及纳米生物材料的表面特征观察

物理与化学：纳米结构材料、薄膜与界面研究

环境与地球科学：颗粒物、土壤与矿物样品的形貌与成分分析

工业应用：半导体、微电子器件检测与失效分析