为充分发挥我校分析测试中心大型仪器在学科建设与人才培养中的作用,提升我校师生仪器操作能力,中心拟进行第四期大型仪器设备培训活动,开展超高分辨冷场扫描电子显微镜(SEM,Hitachi SU8600)的基本原理及上机操作培训。现将有关事项通知如下:
一、设备信息
设备名称:超高分辨冷场扫描电子显微镜
设备型号:Hitachi SU8600
仪器简介:本仪器采用冷场发射电子枪结合 Mild Flash 柔性技术,能够在低加速电压下实现高亮度、稳定的电子束发射,具备极高的分辨率和广泛的应用适应性。配备多功能信号探测系统与高性能能谱仪 (EDS),可对样品进行形貌、结构、元素组成及结晶学信息 的综合分析,广泛应用于材料、生命科学、物理、化学、环境科学及工程领域的精密研究。
主要技术参数与优势:
1. 超高分辨率成像:配备冷场发射电子枪,分辨率可达0.6 nm@15 kV;
2. 高效真空系统:抽真空时间≤1分钟,可高效率使用;
3. 大样品兼容性:样品最大直径150 mm,样品台倾斜角-5~+70°;
4. 多模式成像:支持减速模式(Deceleration Mode),无需喷镀即可观察导电性差或不导电样品;
5. 多功能分析:配备EDS能谱仪,可实现元素成分分析;
二、培训目的
通过系统培训,使参训人员掌握SU8600的基本工作原理、样品制备规范、仪器标准操作流程、图像采集与处理技巧,能够独立开展常规SEM观察实验。
三、培训对象
全校有以上仪器使用需求的教师及学生。
四、培训内容
1. 基本原理与结构(理论):包括冷场发射扫描电镜工作原理、电子光学系统、信号检测系统、成像机制、减速模式(Deceleration Mode)原理与应用;
2. 仪器结构与功能:高亮度冷场电子源的特点与维护、多探测器系统配置与选择策略、样品室环境控制与真空系统、EDS能谱分析原理;
3. 样品制备要求:干燥样品制备规范、含水样品冷冻制备流程、导电性处理原则与方法、喷镀技术选择(Au、Pt、C等);
4. 标准操作流程(实操):样品准备与装载、仪器开关机与抽真空、成像参数设置与优化、图像采集与调节;
5. 数据处理与安全规范:图像后期处理、图像测量与统计分析、安全操作规范、真空系统安全操作、紧急情况处理流程。
五、培训计划
地点:蓝工院大厦1楼110室分析测试中心
时间:2025年12月17日上午9:00
联系人:王老师17852602026;刘老师17305362053
六、 其他事项
1.培训期间请自备笔记本、实验记录本等学习用品。
2.实践环节因场地容纳人数有限,将根据报名顺序安排。
欢迎广大老师和同学踊跃报名参与!
分析测试中心
2025年12月16日